MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導體檢查顯微鏡通過(guò)各種觀(guān)察方法--明視場(chǎng)法、暗視場(chǎng)法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線(xiàn)法和深紫外線(xiàn)法，保證了卓越的圖像分辨率和鮮明度。
考慮了檢查效率的設計
主要操作集中配置在前面板上
前面板
[1] 照明強度旋鈕
[2] 物鏡倍率切換
[3] 孔徑光闌調節
在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開(kāi)閉調節，與物鏡的切換和觀(guān)察模式連動(dòng)，用***個(gè)按鈕就可以操作。此外，用***個(gè)手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開(kāi)對焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。
觀(guān)察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒
傾斜鏡筒示意圖
為了適應視點(diǎn)而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進(jìn)行檢查的話(huà)會(huì )浪費時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMIS8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無(wú)關(guān)的舒適觀(guān)察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這***款鏡筒拉長(cháng)了從觀(guān)察中心軸到觀(guān)察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
內置離合器的載物臺手柄
對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284mm）。另外，內置離合器的載物臺手柄，可切換粗調和微調。在顯微鏡觀(guān)察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺，快速完成檢查。
鮮明圖像和卓越的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
多種選擇可實(shí)現卓越的成像性能
物鏡是涉及到樣品的照明和觀(guān)察的重要部件，奧林巴斯有應對多種多樣的觀(guān)察方法、長(cháng)工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
觀(guān)察影像實(shí)例
明視場(chǎng)觀(guān)察
暗視場(chǎng)觀(guān)察
微分干涉觀(guān)察
熒光觀(guān)察
軟件方案
實(shí)現數字成像
MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此，捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。
使用數碼照相機記錄和保存數碼影像
三目鏡筒可以安裝數碼照相機?？梢员４婧陀涗洈荡a影像，幫助創(chuàng )建觀(guān)察報告?？梢罁猛緩膱D像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。
支持缺陷檢測的多種功能
快速切換物鏡，提高檢查速度
電動(dòng)物鏡轉換器示意圖
電動(dòng)物鏡轉換器的切換速度比原來(lái)提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時(shí)間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類(lèi)型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時(shí)也不會(huì )由視場(chǎng)中心附近偏離。
變換物鏡，孔徑光闌（AS）也隨之調節
AS自動(dòng)調節示意圖
每次變換物鏡時(shí)都需要調節孔徑光闌（AS）的話(huà)，會(huì )影響檢查速度。MX61L對每個(gè)物鏡都可以設置觀(guān)察方法和AS（14***），只要切換物鏡就能以*合適的對比度進(jìn)行觀(guān)察。在變換物鏡和切換觀(guān)察模式時(shí)不再需要花時(shí)間調節AS，提高速度的同時(shí)減輕了操作員的疲勞。
幫助實(shí)現多種觀(guān)察的附件
安全快速的搬運晶圓
自動(dòng)晶圓搬送機AL110（200 mm規格）組合
MX61L能與自動(dòng)晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無(wú)接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀(guān)檢查到微觀(guān)檢查等多種任務(wù)。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開(kāi)始和保存都可以在手中快速完成。
近紅外線(xiàn)觀(guān)察單元
由可見(jiàn)光線(xiàn)領(lǐng)域到近紅外線(xiàn)領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線(xiàn)用超廣角三目鏡筒等，對應近紅外線(xiàn)的裝置備有各種型號。在晶圓凸出物接觸面等的觀(guān)察上發(fā)揮威力。
近紅外線(xiàn)觀(guān)察單元
粘合襯墊
熒光觀(guān)察單元
在滑桿上追加鏡子裝置可以對應熒光觀(guān)察。備有U.B.G激勵的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機EL和殘留光刻膠。
熒光鏡單元
熒光觀(guān)察
透射照明單元
透射照明單元
對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實(shí)現了透射簡(jiǎn)易偏振光觀(guān)察。有通用的A型號和高NA（數值孔徑）的B型號兩種型號。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
