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適應范圍廣、搭配靈活

對應多種尺寸組合

我們推出了200 mm專(zhuān)用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀(guān)檢查專(zhuān)用型號"L型"或微觀(guān)•宏觀(guān)檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸•厚度對應表

薄片檢查

對應薄片制造廠(chǎng)***的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。

高度實(shí)用性

 進(jìn)***步優(yōu)化的宏觀(guān)檢查

背面宏觀(guān)360b旋轉

• 宏觀(guān)檢查手臂可以360b旋轉，更為容易發(fā)現傷痕和微塵。

• 利用360b旋轉功能，完全可以目視檢查整個(gè)晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀(guān)檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓傾斜30b進(jìn)行觀(guān)察。

操作便捷

• 為了滿(mǎn)足各種常規檢查的要求，AL120可以登記多達10個(gè)檢查程序。使用這***功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

• 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會(huì )在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認。

• AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

• 為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計。

• 在安全性和人機工學(xué)上通過(guò)了SEMI S2/S8檢測，同時(shí)，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。

堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專(zhuān)業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過(guò)各種觀(guān)測方法，包括：明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線(xiàn)）和DUV（深紫外線(xiàn)），實(shí)現了優(yōu)質(zhì)的圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以?xún)?yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。

人機工程學(xué)設計的載物臺

• 手動(dòng)快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。

• 可通過(guò)操縱桿或預編程的程序控制電動(dòng)載物臺，進(jìn)***步將檢查過(guò)程自動(dòng)化。只需***鍵便可驅動(dòng)載物臺返回或離開(kāi)load/unload位置及原點(diǎn)位置。