超高的基本性能外,更大大提升了觀(guān)察性、操作性、耐久性
可以觀(guān)察的大硅片直徑為200mm
觀(guān)察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定)
觀(guān)察性能提升
擴大檢查范圍的反射熒光觀(guān)察(L200ND)新
反射照明觀(guān)察,除可進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉觀(guān)察外,更可進(jìn)行UV(365nm)激發(fā)的反射熒光觀(guān)察。
對于半導體感光薄膜的殘渣、有機EL顯示面板的觀(guān)察發(fā)揮了很大的威力。
使用物鏡:CFI LU PLAN FLUOR 10X
反射熒光觀(guān)察用的電動(dòng)水銀光纖光源[INTENSILIGHT](L200ND)
光源采用了預定心電動(dòng)水銀光纖光源[INTENSILIGHT]。更換燈泡時(shí)不用進(jìn)行燈絲調心和對焦。
燈箱可與主機分離設置,以降低光源發(fā)熱對顯微鏡的影響。6段式的調光機能和快門(mén)機能,實(shí)現了良好的操作性。
約2000小時(shí)超長(cháng)使用壽命的燈泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理環(huán)保
比12V100W更亮的高亮度12V50W鹵素燈 新
采用了12V50W的[LV-LH50PC預定心燈箱],與12V100W相比,耗電量削減了約半,又可達到與其同等甚至更亮的亮度。
燈絲位置經(jīng)過(guò)優(yōu)化設計,且燈箱里有反光鏡,使照明視場(chǎng)均勻,并提高照明效率。特別是用到50倍以的高倍物鏡時(shí),能得到比12V100W亮約20%的觀(guān)察圖象。
更環(huán)保,也能防止因熱量而造成的焦面偏移的干擾。
抗污染的防靜電涂層 新
主機、載物臺、鏡筒均涂有消靜電涂層。為了提高抗污染能力,防止工件因靜電感應而受損,從而提高成品率。

可調節到佳位置進(jìn)行觀(guān)察的正立調傾式三目鏡筒
視場(chǎng)數25的超大視場(chǎng),可任意設定0~30°的觀(guān)察角度。根據使用者體型和觀(guān)察姿勢的不同,可將三目鏡筒調節到佳位置松隨意的進(jìn)行觀(guān)察。
載物臺微調手輪無(wú)需移動(dòng)工件
不用移動(dòng)工件,載物臺微調手柄位置固定于顯微鏡主機操作部旁。
所有的操作部都盡在手邊,移動(dòng)載物臺、對焦等顯微操作,不用抬手,只需動(dòng)動(dòng)手腕就可輕松執行。
耐久性比以前高3倍的電動(dòng)通用物鏡轉換器 新
多可以安裝到6個(gè)物鏡。和偏心較小的物鏡結合使用,用高倍物鏡觀(guān)察時(shí)切換倍率也很少會(huì )出現圖象閃動(dòng)現象。
從低倍到高倍的自由切換更穩定??紤]到使用者,在旋轉物鏡轉換器時(shí)會(huì )自動(dòng)切斷照明光路,避免光直接照射使用者眼晴。

對焦目標
對焦目標可移入光路,這特性對于裸硅片類(lèi)的低對比度工件的正確對焦成為方便。
顯微鏡操作部位集中于底座前部
操作手輪、按鍵等,都集中于底座前部,更便于使用??淳湍芸旖莞咝У倪M(jìn)行顯微操作。大大減輕了長(cháng)時(shí)間觀(guān)察的疲勞感。
獲取佳圖象,提升與顯微鏡用數碼相機的聯(lián)動(dòng)力
實(shí)現了從觀(guān)察到圖象拍攝、分析的佳整體化
·尼康開(kāi)發(fā)提供了便于使用的顯微鏡、數碼相機和軟件體化的高機能設備系統。
·支持從設定佳觀(guān)察條件,到數碼拍攝→處理→分析的整個(gè)流程。
用于LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列
與ECLIPSE L200N相結合,對應新的硅片檢查需要。
運用獨立的尼康高端技術(shù),穩定傳輸超薄型100um硅片。
日本尼康L200N/L200ND LSI檢查顯微鏡 Nikon金相顯微鏡價(jià)格
日本尼康L200N/L200ND LSI檢查顯微鏡 Nikon金相顯微鏡價(jià)格
日本尼康L200N/L200ND LSI檢查顯微鏡 Nikon金相顯微鏡價(jià)格
日本尼康L200N/L200ND LSI檢查顯微鏡 Nikon金相顯微鏡價(jià)格