測量元素:Na~U
X射線(xiàn)管:銠(Rh)靶 /管電壓 50 kV / 管電流 1 mA
X射線(xiàn)熒光檢測器:SDD硅漂移檢測器
透過(guò)X射線(xiàn)檢測器:NaI(Ti)晶體
X射線(xiàn)導管:單毛細管 10μm / 100μm 無(wú)濾光片
光學(xué)圖像:樣品整體光學(xué)像及共軸放大圖像
樣品臺尺寸:XY:100mm×100mm
樣品倉:全真空模式/ 真空 300mm×300mm×80mm
信號處理:數值脈沖處理器(INCA處理器 )
定性分析:自動(dòng)定義譜峰/ KLM線(xiàn)標注/ 譜峰查找/ 譜峰匹配
定量分析:無(wú)標樣基本參數法/ 標準無(wú)標樣基本參數法/ 標準文件匹配基本參數法/ 校正曲線(xiàn)/ 多層膜基本參數法/ 多點(diǎn)分析(*多5000)/ 多點(diǎn)結果輸出至Excel?
面掃描功能:透過(guò)X射線(xiàn)像/ 元素面分布圖/ 譜圖面掃描 /矩形面掃描/ 生成譜圖/ RGB合成/ 標尺/ 線(xiàn)分析
其它功能:可同時(shí)開(kāi)啟XGT-5200操作軟件