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EQP等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

主要特點(diǎn)：
? 軟件控制的離子汲取光學(xué)系統，以使等離子體擾動(dòng)*小
   ? 45°靜電扇區分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
   ? 所有能量范圍內，離子行程的*小擾動(dòng)，及恒定離子傳輸
   ? 帶差式泵的三***過(guò)濾四極桿，質(zhì)量數范圍至2500amu
   ? 高靈敏度 / 穩定的脈沖離子計數檢測器，有7個(gè)數量***的動(dòng)態(tài)范圍
   ? 可調諧的離子源，用于電子附著(zhù)選件的表觀(guān)電勢質(zhì)譜分析
   ? Penning規和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護
   ? 信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時(shí)間的變化
   ? 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
   ? Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
   ? 通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft

EQP等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

技術(shù)參數：
應用：
   ? 蝕刻 / 沉積作用研究
   ? 離子植入 / 激光燒蝕 
   ? 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
   ? 等離子體電感耦合，即在操作中遵從電極設定條件
   ? 通過(guò)視口、接地電極和驅動(dòng)電極進(jìn)行分析

EQP等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

儀器簡(jiǎn)介：
Hiden EQP是***臺結合質(zhì)量和能量分析的儀器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等離子過(guò)程中陰、陽(yáng)離子、中性粒子以及自由基。