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Diener PICO 等離子清洗機

Pico 等離子設備能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統***同使用的***常見(jiàn)的選裝件。Pico 等離子系統主要應用于以下領(lǐng)域：

小批量生產(chǎn)

分析 (REM, TEM)

醫療技術(shù)

滅菌

研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)

考古

紡織技術(shù)

塑料技術(shù)

規格，參數：

系列

Pico系列

控制系統

半自動(dòng)型

PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

4~15L

真空腔室

圓形不銹鋼件，配有蓋子

（大約Φ 150 mm, 長(cháng) 320 mm 或者長(cháng) 600 mm）或者

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén)

（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 130 mm, 長(cháng) 300 mm 或者長(cháng) 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 130 mm, 長(cháng) 300 mm 或者長(cháng) 600 mm）

配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 130 mm, 長(cháng) 300 mm 或者長(cháng) 600 mm）

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計時(shí)器

數字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz: 功率 0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無(wú)級可調型

真空泵

KASHIYAMA

電源

臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位

其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當地語(yǔ)言的文件、現場(chǎng)安裝，包括培訓?？蓱筇峁┑钠渌x項。