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Diener FEMTO 微波等離子清洗機

德***Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業(yè)的，是******專(zhuān)門(mén)研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業(yè)。

規格、參數：

系列

Femto

控制系統

半自動(dòng)型

PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

1.9~6L

真空腔室

圓形不銹鋼件，配有蓋子

（大約 Φ 100 mm, 長(cháng) 278 mm 或者長(cháng) 600 mm）

矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén)

（約寬 103 x 深 285 x 高 103)

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 95 mm, 長(cháng) 280 mm 或者長(cháng) 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約 Φ 95 mm, 長(cháng) 280 mm 或者長(cháng) 600 mm）

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 95 mm，長(cháng) 280 mm 或者長(cháng) 600 mm）

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計時(shí)器

數字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無(wú)級可調型

真空泵

KASHIYAMA

電源

供電電源： 臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位

用途： 

Diener等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。 

Diener等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合： 

半導體開(kāi)發(fā)、集成電路開(kāi)發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗等等。 

Diener等離子清洗/刻蝕機具有以下特點(diǎn)： 

可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序；不會(huì )對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。