INFICON MPG400/MPG401 冷陰極皮拉尼復合真空規
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：美國更新時(shí)間：2020-10-27 10:05
品 牌：Inficon型 號：INFICON
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2209
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INFICON復合真空規 （冷陰極和皮拉尼的復合）
型號：MPG400和MPG401,
INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規 MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在***個(gè)具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.
優(yōu)點(diǎn)：
復合真空規—冷陰極與皮拉尼
寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
無(wú)可燒毀的燈絲
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金屬密封的饋入件
高壓加上時(shí)LED指示燈亮
對數模擬輸出訊號
應用：
高真空壓強監測
蒸發(fā)和濺射系統的壓強測量
***般真空測量和控制，從中至高真空范圍
產(chǎn)品參數
技術(shù)參數：
測量范圍 （空氣, N2） | 毫巴（乇） | 5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760） |
精度 （N2） 1 x 10-8 … 100毫巴 | % 讀值 | ≈±30% |
重復性1 x 10-8 … 100毫巴 | % 讀值 | ≈±5% |
安裝方向 | | 任何 |
允許壓強 | 巴（絕對） | ≤10 （限于惰性氣體） |
允許溫度 工作 （室溫） 貯存 烘烤 1） 燈絲溫度 （皮拉尼） | °C °C °C °C | +5 … +55 –40 … +65 150 120 |
電源電壓 | | |
在規管上 | V DC | +15 … +30 |
在供電單元上, 最大電纜長(cháng)度 2） | V DC | +16 … +30 |
紋波 | Vpp | ≤1 |
功耗 | W | ≤2 |
連接保險絲 | AT | ≤1 |
輸出訊號（測量訊號） | | |
電壓范圍 | V | 0 … +10.5 |
測量范圍 | V | +1.82 … +8.6 |
電壓與壓強的關(guān)系 | | 對數, 0.6 V/量級 |
誤差訊號 | V | <0.5 （無(wú)電源） |
| V | >9.5 （皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂） |
輸出阻抗 | ? | 2 x 10 |
最小負載阻抗 | k? | 10, 短路保護 |
響應時(shí)間 p > 10-6 毫巴 | 毫秒 | <10 |
p = 10-8 毫巴 | 毫秒 | ≈1000 |
規管標識 | k? | 85, 參考電源公共點(diǎn) |
狀態(tài) | | |
僅皮拉尼模式 | V | 0 （低） |
復合皮拉尼 / 冷陰極模式 | V | 15 … 30 （高） |
指示燈 | LED 綠色 | 高壓on |
電氣連接 | | FCC 68 設備連接件, 8腳,凹型 |
傳感器電纜 | | 8芯,加屏蔽 |
電纜長(cháng)度 | 米 | ≤50 （8 x 0.14 毫米2） |
工作電壓 | 千伏 | ≤3.3 |
工作電流 | 微安 | ≤500 |
暴露于真空的材料 | | 不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | 不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W |
內容積 | 厘米3 | ≈20 |
重量 | | |
DN 25 ISO-KF | 克 | ≈700 ≈730 |
DN 40 ISO-KF | 克 | ≈720 ≈750 |
DN 40 CF-F | 克 | ≈980 ≈1010 |
保護級別 | | IP 40 |
標準 | | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
