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特點(diǎn)

1.     控制模式：開(kāi)環(huán)控制和閉環(huán)控制

2.     易于集成：可與***產(chǎn)自動(dòng)壓強控制儀配套使用，來(lái)實(shí)現閉環(huán)控制，達到穩定壓強的目的，性?xún)r(jià)比高，同時(shí)亦可選擇進(jìn)口壓強控制儀

3.     響應時(shí)間快

4.     性能穩定，壓電陶瓷片壽命長(cháng)

5.     無(wú)機械連接件，無(wú)伺服馬達，無(wú)磨損，在斷電的情況下可實(shí)現自動(dòng)關(guān)閉的特點(diǎn)

技術(shù)參數

流量                   0--500 scmm

響應時(shí)間            2 毫秒

集成漏率            5×10-8sml/sec

驅動(dòng)電壓            0-100VCD/0-24VDC

電路連接            標準BNC接頭（Q9）

溫度范圍           100C至600C

最大入口壓強     50PSI

重量                  800克

精密型壓電閥

產(chǎn)品型號：PEV-1

產(chǎn)地：美***KEY HIGH

壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場(chǎng)合，主要應用領(lǐng)域包括: 磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽(yáng)能電池，ITO，等離子體刻蝕等。