技術(shù)參數 1.光譜范圍230nm~850nm
2.手動(dòng)改變入射角度
3.實(shí)時(shí)測量
4.快速數據獲取
主要特點(diǎn) 1.測量快速、簡(jiǎn)便
2.先進(jìn)的探測系統極大提高信噪比
3.分別測量1000個(gè)以上光譜點(diǎn)
4.光學(xué)器件集成度高
儀器介紹 韓***NanoView公司在橢偏儀領(lǐng)域不斷創(chuàng )新，擁有多項專(zhuān)利技術(shù)。多年來(lái)***直致力于高性能橢偏儀的研制與生產(chǎn)，其產(chǎn)品主要用于半導體、導體、介質(zhì)和液體薄膜的厚度、光學(xué)特性、成分比例和表面粗糙度等測量和分析，也可用于半導體器件和FPD顯示等領(lǐng)域。目前主要產(chǎn)品分光橢偏儀，以獨特的設計和無(wú)需校準等多項先進(jìn)專(zhuān)利技術(shù)，使得測試時(shí)間大大減少的同時(shí)極大地增加了測量精度。
***新開(kāi)發(fā)的多傳感頭的分光橢偏儀，用于半導體和顯示器生產(chǎn)線(xiàn)的在線(xiàn)Mapping分析。
SE－MG 1000型變角光譜橢偏儀：
光譜范圍 340－850nm，紫外可選（230－850nm），變角測角儀，可精密測量薄膜厚度、折射指數及其他性質(zhì) ，可進(jìn)行多層膜模擬分析 ，數據分析：Del,Psi,n,k,d ，測量精度 1 ?
SE－MF 1000型固定入射角光譜橢偏儀：
采用專(zhuān)利的無(wú)需校準、無(wú)需標定技術(shù)和獨特的無(wú)臂結構，USB接口和計算機連接，配合強大的控制分析軟件和多通道檢測器，測試速度快，10ms檢測全光譜，是您實(shí)驗室分析薄膜的極佳工具?？蓮V泛應用于：測量薄膜/多層膜的厚度、表面粘污， 表面與界面粗糙度、反射率， 組成與空隙率、合金比例等。
Rubbins-1000型Mapping光譜橢偏儀：
新開(kāi)發(fā)的世界第***臺LCD rubbing檢測系統，同時(shí)也是世界上第***套能檢測rubbing膜和聚酰亞氨膜的設備，也可用于LCD面板和正在發(fā)展中的半透明膜和CD 測試。
主要特點(diǎn)：適用于厚膜和薄膜測試
測試精度高
響應速度快
測量時(shí)間短
旋轉補償技術(shù)
無(wú)需旋轉樣品或測量頭
不但可用于研發(fā)還可用于生產(chǎn)線(xiàn)檢測
大吞吐量樣品
Rubbins不用旋轉樣品就可以測量任何代包括第7代和第8代的整個(gè)薄膜面板
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
