Aera PI-980穩壓型質(zhì)量流量控制器
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：美國更新時(shí)間：2020-11-03 10:38
品 牌：Advanced Energy型 號：Aera PI-980
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：2848
400-006-7520
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優(yōu)勢
改善了氣體輸送性能和生產(chǎn)產(chǎn)量
便于在設備上整合
大幅節約了氣體面板成本
減小了氣體面板尺寸
提高了安全性
實(shí)時(shí)通信和控制
世界***的服務(wù)和支持
延長(cháng)了系統正常運行時(shí)
特點(diǎn)
穩壓運行
精確性和可重復性高
整合式氣體面板組件
現場(chǎng)氣體檢驗，多氣體、多范圍配置
現場(chǎng)可編程
DeviceNet? 控制
板上顯示
整合式診斷
全金屬密封
超純設計
產(chǎn)品參數
其流量范圍范圍分不同的等級，分別有2sccm至4sccm、5sccm至9sccm、10sccm至30sccm、31sccm至100sccm、101sccm至300sccm、301sccm至1000sccm、1001sccm至3000sccm、3001sccm至10000sccm、10001sccm至30000sccm、30001sccm至50000sccm.
精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:100 psiA(690 kPaA)
產(chǎn)品介紹
集熱溫感式 MFC
Aera PI-980系列穩壓型質(zhì)量流量控制器
憑借業(yè)界***的流量控制技術(shù)，Aera? PI-980? 系列非壓敏型 MFC（質(zhì)流控制器）可預測新***代半導體制造制程不斷增長(cháng)的需求，這些制程包括蝕刻、化學(xué)汽相沉積、物理汽相沉積和擴散。與先前的技術(shù)或競爭對手產(chǎn)品相比，這***創(chuàng )新的技術(shù)平臺提供了更迅速的響應、更高的氣體流量穩定性、更高的精確度以及***流的實(shí)時(shí)制程控制。較高的流量穩定性提供了更好的腔室到腔室制程可重復性，從而提高了生產(chǎn)產(chǎn)量。
PI-980 MFC 的新***代設計將傳統的熱流量架構與***個(gè)壓力傳感器、溫度傳感器以及 NeuralStep? 控制技術(shù)進(jìn)行了整合，從而創(chuàng )造了***個(gè)單***而精簡(jiǎn)的輸送包，省去了以往***直需要使用的眾多昂貴的氣體面板組件。多氣體、多范圍功能大幅降低了支持性物品的要求，從而進(jìn)***步提高了成本效率。除了整合式診斷，新***代 MFC 技術(shù)還被整合進(jìn)了我們得到現場(chǎng)驗證的 D980 系列產(chǎn)品平臺，以延長(cháng)系統正常運行時(shí)間，并使故障的發(fā)現和修理變得快速而簡(jiǎn)易。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
