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德國AIXUV極紫外光源與光柵(UV)

價(jià)  格:詢(xún)價(jià)

產(chǎn)  地:德國更新時(shí)間:2020-10-19 10:52

品  牌:AIXUV型  號:

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2668

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話(huà): 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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1.安裝簡(jiǎn)單,操作方便;
2.自成獨立系統,可通過(guò)鋯窗與應用真空系統隔離;
3.參數安全設定,符合CE標準;
4.可持久工作,維護費用低(只需電源和氙氣)。

德***AixUV公司是世界上第******提供商用實(shí)驗室極紫外光源的廠(chǎng)***。公司面向世界范圍提供基于等離子體技術(shù)的極紫外光,遠紫外光和X射線(xiàn)產(chǎn)品。
極紫外光(XUV)的波長(cháng)在1納米到50納米之間,包括了通常所說(shuō)的軟X射線(xiàn)和遠紫外光(EUV)。

廣泛用于:

●納米電子器件的實(shí)驗室制作
●納米電子工業(yè)的光刻和工藝優(yōu)化(如光刻膠優(yōu)化)
●作為比同步輻射更強烈的光源用于表面物理和表面化學(xué)分析研究
 


產(chǎn)品參數

1.2 J / pulse electrical input
2.> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
3.< 500 mm source diameter FWHM
4.> 50 Hz Reprate
5.Permanent operation 7 days / 24 h
6.Guaranteed 100.000.000 pulses;
Tested up to 230.000.000(> 1200 hours)
7.Flexible head orientation
 


產(chǎn)品介紹



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