***、使用前準備

　　1. 設備檢查

　　- 確認電源連接正常，接地良好，避免觸電風(fēng)險。

　　- 檢查清洗室密封性，確保無(wú)漏氣現象；清理內部殘留雜物，保持潔凈。

　　- 檢查工作氣體(如氬氣、氧氣)供氣系統，確保氣壓充足、管路暢通。

　　2. 工件處理

　　- 待清洗工件需固定穩妥，避免相互碰撞或接觸電極。

　　- 根據污染物類(lèi)型選擇適配氣體(如氬氣用于表面活化，氧氣用于有機污染物去除)。

　　3. 參數預設

　　- 參考設備默認參數(如功率50W-150W，氣體流量20sccm，清洗時(shí)間200s)。

　　- 初次使用或特殊材料需進(jìn)行小范圍測試，避免過(guò)度清洗導致材料損傷。

　　二、操作步驟

　　1. 開(kāi)機與啟動(dòng)

　　- 依次打開(kāi)設備后部總電源、面板藍色電源鍵。

　　- 啟動(dòng)真空泵，手動(dòng)按壓腔門(mén)確保密封，觀(guān)察腔內氣壓是否達50-100Pa正常范圍。

　　- 調節氣體流量旋鈕(A通道)至20sccm，保持穩定進(jìn)氣。

　　2. 參數調整

　　- 匹配調諧：先調節TUNE旋鈕使左屏顯示設定功率，再調LOAD旋鈕使右屏示數至15Wr，***終微調TUNE使反射功率(右上角)接近0%。

　　- 功率與時(shí)間：按需求設定清洗功率(建議≤150W)和時(shí)間(常規200s，特殊材料可延長(cháng)至10分鐘)。

　　3. 清洗過(guò)程監控

　　- 實(shí)時(shí)觀(guān)察功率、氣壓、氣體流量等參數，確保設備穩定運行。

　　- 避免頻繁開(kāi)閉腔門(mén)，防止氣壓波動(dòng)影響等離子體穩定性。

　　4. 結束操作

　　- 清洗完成后，先關(guān)閉面板藍色電源鍵，再切斷總電源。

　　- 關(guān)閉氣源，打開(kāi)排氣閥排出殘留氣體，避免氣體積聚。

　　- 待腔內冷卻后取出工件，避免高溫燙傷。

　　三、關(guān)鍵參數設置規范

　　1. 功率控制

　　- 常規清洗：50W-150W(如100W為常用值)。

　　- 敏感材料(如塑料、有機膜)：建議≤90W，時(shí)間控制在5分鐘內。

　　- 禁止超限：***大功率勿超150W，金屬刻蝕需謹慎(可能超出設備承受范圍)。

　　2. 氣體流量

　　- 默認流量20sccm，需匹配真空泵抽速以維持50-100Pa氣壓。

　　- 不同氣體切換時(shí)需排空管路殘留氣體。

　　3. 清洗時(shí)間

　　- 常規污染物：200s；頑固污漬可分多次短時(shí)清洗(如每次3min)。

　　- 膠類(lèi)或有機涂層：可延長(cháng)至10分鐘，但需監測材料表面狀態(tài)。

　　四、安全操作規范

　　1. 個(gè)人防護

　　- 必須佩戴防護眼鏡、手套及防護服，避免等離子體直接接觸皮膚或眼睛。

　　- 操作時(shí)站立側位，防止腔門(mén)意外開(kāi)啟造成傷害。

　　2. 設備操作禁忌

　　- 嚴禁運行時(shí)觸碰電極或內部元件(高溫高風(fēng)險)。

　　- 禁止隨意拆卸設備，維修需由專(zhuān)業(yè)人員進(jìn)行。

　　- 緊急情況立即按下紅色急停按鈕。

　　3. 環(huán)境安全

　　- 工作區域遠離易燃物，設備需良好接地。

　　- 廢氣需通過(guò)通風(fēng)系統排出，避免局部氣體濃度過(guò)高。

　　五、維護與保養

　　1. 日常維護

　　- 清洗后用無(wú)塵布擦拭腔體內壁，定期檢查電極損耗情況。

　　- 氣體管路每月檢查***次，防止堵塞或泄漏。

　　2. 周期性保養

　　- 每季度校準真空泵油位，更換老化密封件。

　　- 每年進(jìn)行***次全面檢修，重點(diǎn)檢查電氣系統和真空度穩定性。

　　六、常見(jiàn)異常處理

　　1. 氣壓異常：檢查真空泵、管路是否漏氣，或重新調節目流量。

　　2. 功率波動(dòng)：需重新調節TUNE/LOAD旋鈕至匹配狀態(tài)。

　　3. 清洗效果不佳：可能因功率過(guò)低、時(shí)間不足或氣體不匹配，需優(yōu)化參數。

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