衍射光學(xué)元件由于其特殊的性質(zhì)在各種光學(xué)系統中得到了越來(lái)越多的發(fā)展和應用。對于成像光學(xué)系統中的衍射光學(xué)元件,通常采用單點(diǎn)金剛石車(chē)削的方法加工。在衍射光學(xué)元件加工的過(guò)程中,難免會(huì )產(chǎn)生***些加工誤差影響衍射效率。

衍射效率是評價(jià)衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統的重要指標之***。光線(xiàn)通過(guò)衍射光學(xué)元件后,會(huì )產(chǎn)生多個(gè)衍射***次,***般只是關(guān)注主衍射***次的光線(xiàn),其他衍射***次的光線(xiàn)在主衍射***像面上形成雜散光,降低像面的對比度。因此,衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量,對衍射光學(xué)元件衍射效率的準確測量是十分必要的。

根據標量衍射理論,當光束從衍射光學(xué)元件的基底材料斜入射到空氣中時(shí),單層衍射光學(xué)元件的第m衍射***次的衍射效率為

m 為衍射***次，d為衍射光學(xué)元件的表面微結構高度，n（λ）為衍射光學(xué)元件的基底材料在波長(cháng)為λ時(shí)的折射率。從式中可以看出，單層衍射光學(xué)元件的衍射效率只在設計波長(cháng)處具有***的衍射效率；當偏離設計波長(cháng)時(shí)，衍射光學(xué)元件的衍射效率會(huì )明顯下降。

ARS角分辨散射測量可實(shí)現不同類(lèi)型的衍射光柵測量，通過(guò)不同衍射***的光散射分布計算得到衍射效率。

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