在電子半導體廠(chǎng)中對局部微環(huán)境實(shí)施高度凈化是非常重要的。微環(huán)境基于隔離技術(shù)原理，工廠(chǎng)內的加工、儲存和運輸過(guò)程在晶圓附近提供完整的環(huán)境控制。

完全整合的微環(huán)境包括：***個(gè)微環(huán)境外殼將制程環(huán)境或機臺與環(huán)境潔凈室和人員隔開(kāi)，用于自動(dòng)加載的輸入/輸出和密封容器，在裝卸、儲存和運輸過(guò)程中提供晶圓保護，可以使用3種基本方法將其設計和整合到設備中。1.天花板吊頂式微環(huán)境：2.具獨立風(fēng)機過(guò)濾單元的地板支撐微環(huán)境;3.機臺整合微環(huán)境。

外殼連接并懸掛在潔凈室天花板網(wǎng)格系統中，超凈化的空氣通過(guò)設施中心系統(管道或開(kāi)放式氣管)供應到外殼。這種類(lèi)型的微環(huán)境提供了高靈活性，并可進(jìn)入機臺進(jìn)行維護。溫度和濕度以及化學(xué)過(guò)濾等環(huán)境參數在整體范圍內受到控制。通過(guò) HEPA/ULPA 過(guò)濾器的氣流速度通常在整個(gè)設施中固定，氣流是向下垂直層流，很少或根本沒(méi)有控制空氣速度。由于與天花板相連，微環(huán)境外殼，面板和檢修門(mén)材料決定了天花板網(wǎng)格系統規格(類(lèi)型、負荷、潔凈度等)。

該微環(huán)境系統完全獨立于設施中心系統，超凈化空氣通過(guò)風(fēng)機過(guò)濾單元提供給機柜。在需要溫度和濕度控制的地方，可以使用遠程環(huán)境空氣處理裝置，必要時(shí)可按機臺提供化學(xué)過(guò)濾和密封選項。氣流可以是垂直或水平層流，速度可根據機臺的要求進(jìn)行調整。微環(huán)境外殼、面板和門(mén)禁材料完全獨立于天花板網(wǎng)格系統，因此選擇低成本天花板網(wǎng)格系統可以節省成本。

帶有氣體自循環(huán)系統，超潔凈的氣體/空氣通過(guò)自供電風(fēng)機過(guò)濾機組提供。在需要溫度和濕度控制的地方，可以使用遠程環(huán)境空氣處理裝置。

通常使用過(guò)濾后的潔凈空氣，但是在控制氧氣，水蒸氣的情況下，可以采取使用者選擇的氣體，如干燥空氣、氮氣或氣態(tài)氣。必要時(shí)可提供化學(xué)過(guò)濾和密封選項。高風(fēng)流向可以采用水平垂直方式設計，流速可以按機臺進(jìn)行調整。微環(huán)境外殼、面板和檢修門(mén)材料對天花板網(wǎng)格系統規格沒(méi)有影響，因此可以選擇低成本的網(wǎng)格系統。

 微環(huán)境比開(kāi)放空間式潔凈室環(huán)境使用的優(yōu)勢包括以下幾點(diǎn) 

(1)與開(kāi)放空間式潔凈室相比，在單***制程中控制污染效率更高，并能提供更好的質(zhì)量控制。

(2)生產(chǎn)環(huán)境與污染物隔離，尤其是與操作員。晶圓通過(guò)微環(huán)境內部與環(huán)境隔離的吊艙之間自動(dòng)直通進(jìn)出，這些吊艙提供和檢索晶圓盒，并在其他制程站之間運輸，也許其他制程站也位于微環(huán)境中。

(3)所有晶圓加工和運輸機臺封閉在微環(huán)境中，可降低對機臺周?chē)臻g空氣質(zhì)量的要求。