在半導體制造領(lǐng)域，潔凈室的環(huán)境質(zhì)量對產(chǎn)品的性能與良率具有至關(guān)重要的影響。其中，氣態(tài)分子污染物（AMC）的監控，特別是堿性物質(zhì)MB（如氨、有機胺等）的監測，成為確保生產(chǎn)穩定性和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。

氣態(tài)分子污染物（Airborne Molecular Contaminant，AMC）是半導體FAB潔凈室重點(diǎn)監控之***，根據其性質(zhì)可以分為酸類(lèi)（MA）、堿類(lèi)（MB）、可凝結物質(zhì)（MC）和摻雜物質(zhì)（MD）等。其中，堿性物質(zhì)MB主要組成包括氨、有機胺和酰胺等腐蝕性含氮物質(zhì)，這些物質(zhì)可能與其他酸性物質(zhì) (MA)如SO2在光刻環(huán)境下反應生成鹽類(lèi)沉積在光學(xué)鏡片表面，或者影響光阻劑解析。為了減少MBs對光刻機鏡頭和晶圓良率的負面作用，需要對光刻機內空氣及潔凈室空氣中存在的多種堿類(lèi)物質(zhì)，尤其是氨和有機胺進(jìn)行精確的長(cháng)期監控。

隨著(zhù)半導體工藝的發(fā)展，對于A(yíng)MC中有機胺化合物等關(guān)鍵空氣污染物的檢測精度要求已攀升至pg/mL（即ppt）的極高水平。傳統的離子色譜儀（IC）配合電導檢測器，在靈敏度與分離效率上逐漸顯現出局限性，且部分化合物在離子色譜上無(wú)法完全分離造成定性定量偏差而影響品控，難以滿(mǎn)足當前高尖端半導體制造業(yè)對于***品控的迫切需求。特別是在FAB潔凈室空氣中有機胺的監控方面，傳統方法的不足尤為顯著(zhù)。

質(zhì)譜儀（MS）具有高靈敏度和依據離子質(zhì)荷比實(shí)現化合物分離的特點(diǎn)，將IC-MS聯(lián)用不僅可以提高有機胺檢測靈敏度，還可以縮短***針樣品運行時(shí)間，大大提高樣品檢測通量，為半導體行業(yè)的質(zhì)量控制注入了新的活力。

離子色譜儀：盛瀚D160+

質(zhì)譜儀：SCIEX X500R高分辨系統

標準品：二甲胺、二乙胺、乙醇胺、二乙醇胺和嗎啉

采集環(huán)境空氣樣本后經(jīng)某種前處理方法制成水質(zhì)樣本直接進(jìn)樣。

X500R QTOF系統的MRMHR掃描模式延續了SCIEX三重四極桿系列質(zhì)譜的定量黃金標準，靈敏度高，穩定性好。五種有機胺的提取離子流圖如圖1。

5種有機胺線(xiàn)性關(guān)系良好，回歸系數r均大于0.997（圖2）。

在空白基質(zhì)中添加0.8 ng/mL的標樣，平行測定六份，考察回收率和相對標準偏差。結果表明回收率在102-115%之間，相對標準偏差均小于2.6%，表明該方法具有良好的準確度及穩定性。

本文采用離子色譜串聯(lián)飛行時(shí)間質(zhì)譜快速定量分析檢測Class 100潔凈室的環(huán)境空氣中5種有機胺的方法。該方法不僅靈敏度遠優(yōu)于單獨使用離子色譜儀，而且每針樣品的運行時(shí)間也大大縮短。IC-MS聯(lián)用技術(shù)為半導體潔凈室中有機胺的精確監測提供了新的解決方案。該不僅提高了檢測靈敏度和準確性，還縮短了檢測時(shí)間，為半導體行業(yè)及環(huán)境監測領(lǐng)域有機胺的定量檢測提供參考依據，也為半導體行業(yè)的生產(chǎn)穩定性和產(chǎn)品質(zhì)量提供了有力保障。