***產(chǎn)半自動(dòng)臺階儀JS100B/200B/300B，擁有高精度、高分解能力，搭配***體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。

JS100B提供兩個(gè)彩色攝像頭對樣品和針尖同時(shí)成像，可無(wú)畸變的觀(guān)察樣品區，方便定位特征區域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描區域。

應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

系統組成

▲ ***體式臺階儀

選配品

▲ 高度校準標樣

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

 68um樣品