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參考文獻:
【美】Peter Van Zant ,韓鄭生譯,芯片制造-半導體工藝制程實(shí)用教程(第六版),電子工業(yè)出版社;【日】佐藤淳***,王藝文,王姝婭譯,圖解入門(mén)半導體制造工藝基礎精講(第四版),機械工業(yè)出版社;;3.余盛,芯片戰爭,華中科技大學(xué)出版社;
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