Sensofar共聚焦白光干涉儀|對粗糙度和薄膜厚度的測量
眾所周知,光學(xué)應用是***個(gè)具有挑戰性的應用:樣品非常光滑、平坦,有時(shí)是透明的。只有高端輪廓儀才能對其進(jìn)行成像,并滿(mǎn)足該領(lǐng)域的嚴格要求。我們對透鏡和濾光片的經(jīng)驗在于器件粗糙度、微透鏡陣列和薄膜厚度的測量。
微透鏡陣列
球面透鏡
球面透鏡具有更簡(jiǎn)單的設計和更低的制造成本,應用范圍廣泛。
可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度參數。
非球面透鏡
以其較小的像差而著(zhù)稱(chēng),非球面透鏡適用于光學(xué)設計,有極少的元件會(huì )尋求更好的性能。
可以分析曲率半徑,尺寸和10個(gè)非球面變形系數以及Sa、Sq和Sz粗糙度參數。
相機鏡頭
可以在我們的軟件SensoVIEW中執行量測區域的體積計算。
SensoVIEW分析軟件對不同尺寸的孔具有非常高的靈敏度(該樣品的d=2mm)。
多邊形透鏡
六邊形微透鏡是透鏡微陣列中使用的典型幾何結構,它們因其高密度而引人注目。
(文章來(lái)源于儀器網(wǎng))