半導體 | 光學(xué)缺陷檢測

半導體中缺陷檢測是半導體制造過(guò)程中不可或缺的環(huán)節，對于提高產(chǎn)品良率、降低成本、提高生產(chǎn)效率、保障安全性和促進(jìn)技術(shù)進(jìn)步都具有重要意義。

? 光學(xué)無(wú)圖形缺陷檢測，包括顆粒物（particle）、殘留物（residue）、刮傷（scratch）等；

? 電子束缺陷檢測；

缺陷檢測產(chǎn)品

晶諾微缺陷檢測設備 PULSAR 系列包括 L 系列和 H 系列，PULSAR L 系列及 PULSAR H 系列是應用于電子、半導體工業(yè)領(lǐng)域的如 WLP（晶圓***封裝）、PLP（面板***封裝）、晶圓制造前端工藝等，可實(shí)現從低分辨率到高分辨率的缺陷檢測、分

1）產(chǎn)品特點(diǎn)

● 測量速度快，產(chǎn)能可以到 6pcs/hr（6inch，0.2um● 設備穩定性和可靠性高;

復查;

● 亞像素的分辨率（1/10 像素）;

2）產(chǎn)品規格

● 高速 TDI 線(xiàn)陣掃描；● ● 高分辨率：分辨率低至 0.5um ；

4）運動(dòng)系統

● 高精度，XY 重復性 ±0.5um

● 高性能

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