国产亚洲欧美日韩俺去了,人妻无码久久精品,亚洲人成影院在线观看,亚洲AV永久无码精品表情包

上海非利加實(shí)業(yè)有限公司Logo

熱門(mén)詞： 進(jìn)口電動(dòng)溫度調節閥結構圖|進(jìn)口電動(dòng)溫度調節閥數據表進(jìn)口電動(dòng)高溫調節閥-德國進(jìn)口電動(dòng)高溫法蘭調節閥進(jìn)口電動(dòng)蒸汽調節閥-德國進(jìn)口電動(dòng)蒸汽調節閥

現在位置：首頁(yè) >行業(yè)動(dòng)態(tài) >半導體行業(yè)解決方案之LC和SEC分離技術(shù)的應用案例

半導體行業(yè)解決方案之LC和SEC分離技術(shù)的應用案例

2024-04-26 09:31:26

針對半導體工藝流程使用到的各種高分子組分，使用GPC（凝膠滲透色譜）或APC（超高效聚合物色譜）進(jìn)行相對分子量表征是必備的分析手段。而針對小分子組分的色譜分離，液相色譜的拆分必不可少。合作伙伴禾川化學(xué)，在其【案例分享】分析技術(shù)在半導體行業(yè)中的應用中，分享了大量利用ACQUITY Arc UHPLC系統 和GPC/APC針對半導體行業(yè)的應用方案，快來(lái)***睹為快吧。




分析技術(shù)的需求

***內新材料相關(guān)產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展比***外晚，尤其是半導體、新能源等行業(yè)。如何將先進(jìn)的分析方法用于卡脖子行業(yè)的新品研發(fā)中，解決企業(yè)遇到的具體問(wèn)題？

先進(jìn)材料分析的重點(diǎn)在于：

① 卡脖子行業(yè)原材料的采購受控，價(jià)格高且***外長(cháng)期壟斷，如何通過(guò)測試做***內尋找材料，進(jìn)行***產(chǎn)化的替代？

② 產(chǎn)品質(zhì)量事故及客戶(hù)質(zhì)量投訴調查，通過(guò)分析，可以快速查找異物或者不良產(chǎn)生原因，發(fā)現真正原因并及時(shí)挽回損失；

③ 運用科學(xué)合理的分析手段，對標***產(chǎn)品，進(jìn)行“配方逆向工程”，目的是積累科技情報，為研發(fā)提供思路；

④ 將分析與研發(fā)相結合，讓分析參與新項目工業(yè)化轉化，深入參與研發(fā)，持續創(chuàng )新與改進(jìn)，開(kāi)拓分析技術(shù)領(lǐng)域的新方法。

半導體行業(yè)痕量分析技術(shù)

智能手機、云計算、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)以及自動(dòng)駕駛汽車(chē)的發(fā)展持續推動(dòng)著(zhù)對半導體材料的需求，為滿(mǎn)足對半導體器件的更高性能要求并提高器件質(zhì)量，必須在生產(chǎn)過(guò)程中控制硅片的污染。

痕量***詞的含義隨著(zhù)痕量分析技術(shù)的發(fā)展有所變化，痕量分析包括測定痕量元素在試樣中的總濃度，及用探針技術(shù)測定痕量元素在試樣中或試樣表面的分布狀況。半導體行業(yè)中所使用的試劑***般是“電子***試劑”、“超凈高純化學(xué)試劑”等，也就是濕電子化學(xué)品，其主體成分純度大于99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數符合嚴格要求的化學(xué)試劑，其中雜質(zhì)離子的含量控制在ppb甚至ppt***別，因此測試痕量物質(zhì)的儀器選擇很重要。   

目前半導體相關(guān)測試主要有以下幾種方法：

  • 電感耦合等離子發(fā)射光譜(ICP-OES/AES)

  • 電感耦合等離子質(zhì)譜(ICP-MS)

  • 原子吸收光譜(AAS)

  • 激光電離質(zhì)譜和共振電離質(zhì)譜(LIMS&RIMS)

  • 輝光放電質(zhì)譜(GDMS)

  • 二次離子質(zhì)譜(SIMS)

  • 離子色譜法(IC)

  • 俄歇電子能譜(AES)

  • 高分辨質(zhì)譜（UHPLC-QTOF）

  • 超高效聚合物色譜（APC）

液相色譜(SEC)技術(shù)在半導體中的應用案例

***.液相（UPLC、UHPLC、制備色譜）在半導體相關(guān)產(chǎn)品線(xiàn)中的應用


1.光刻膠產(chǎn)品中光引發(fā)劑、光致產(chǎn)酸劑的含量分析
>>>>

光刻膠中的光致產(chǎn)酸劑純度測試

  • 設備：Waters Arc UHPLC

  • 測試條件：AtlantisTM dC18 ,5 μm  4.6×150 mm

  • 乙腈：水=70：30（V/V），波長(cháng)306 nm，柱溫30，流速1.0 mL/min

兩次測試的重復性好，主要成分與雜質(zhì)定量的相對標準偏差<0.5%。
>>>>

三嗪類(lèi)光致產(chǎn)酸劑的含量測試

  • 設備：Waters Arc UHPLC

  • 條件：C18柱，流動(dòng)相：甲醇：水=80：20，流速1.0 mL/min，柱溫30℃，波長(cháng)328 nm。


2.電鍍添加劑中各組分的含量分析

鍍錫添加劑中各組分消耗量的檢測（如何將不同的添加劑組分同時(shí)分析出來(lái)）；鍍銅添加劑（電鍍液中含有大量硫酸銅、硫酸，如何監測微量添加劑的含量變化），為了兼顧多種組分的分析，需要UV、RID或PDA檢測器。

>>>>

電鍍添加劑的色譜分析

  • 色譜柱：AtlantisTM dC18 ,5 μm  4.6×150 mm

  • 流動(dòng)相：梯度淋洗，采用10%乙腈和90%水（ v/v ） 至90%乙腈：10%水（ v/v ） ，保持 5min

  • 測試條件：流速1.0 ml/min，溫度35 ℃

  • 檢測波長(cháng)：214 nm

采用Waters UHPLC 對硫酸亞錫電鍍添加劑進(jìn)行測試方法的開(kāi)發(fā)，采用添加劑劑中常用的鄰苯二酚、對苯二酚、芐叉丙酮、多種表面活性劑做混標測試，得到較具有較好分離度圖譜，可以準確分析鍍液中各組分的含量。
UHPLC的測試結果，對進(jìn)***步了解鍍液中各組分的消耗量，何時(shí)需要補加添加劑，有較好的指導意義。

  • 不足之處：添加同***物質(zhì)的不同牌號（如TX-10、TX-15、TX-20的混合物），UHPLC分離后無(wú)法得出牌號，采用APC做補充分析。

液相色譜的拓展應用




①與集成電路相關(guān)產(chǎn)品合成原材料的純度測試、副產(chǎn)物的結構定性（可以配合制備色譜以及Q-TOF的分析）

②去膠液、去膜液藥水中組分含量的測試

③蝕刻液、粗化藥水（如中粗化、微蝕劑）中關(guān)鍵組分（如各種唑類(lèi)）的含量變化監測

④普通PCB電鍍藥水/FPC電鍍藥水、高分子導電膜中關(guān)鍵小分子組分的含量監測或成分分析


二.APC（或GPC）在半導體相關(guān)產(chǎn)品分析與生產(chǎn)中的應用


1.正型、負型光刻膠的分子量測試

  • 解決方案：采用Waters APC測試分子量，可以分析不同聚合物低聚物的占比，甚至可以得出0.01%以上單體殘留、副產(chǎn)物的含量。

>>>>

光刻膠分子量測試

  • 流動(dòng)相：四氫呋喃；分別用ACQUITY的APC模式與GPC進(jìn)樣模式測試，結果如下：

表1-2  GPC測試的分子量分布








通過(guò)上述對照，同***濃度的同***樣品，使用APC檢測具有以下優(yōu)勢：

1）低分子量段的優(yōu)良分離度，各出峰對稱(chēng)性好，可用工作站***積分 

2）更高響應值

3）保留時(shí)間更短，測試速度更快 

4）可以將分子量在300-2000之間的低聚物，按照聚合度的不同，***分離，對研究低聚物的分布更有參考意義 

5）APC測試可獲得更好的重復性，RSD%在1以下