干貨分享|搭建一個(gè)半導體實(shí)驗室需要什么設備?
半導體測試包括前期的研發(fā),后期的生產(chǎn)的測試。 前期研發(fā),進(jìn)行材料測試,晶圓測試,后期的器件測試等。 材料測試常用的是 LCR數字電橋,阻抗分析儀,網(wǎng)絡(luò )分析儀,電源,萬(wàn)用表,源表,靜電計,半導體參數分析儀,探針臺,信號發(fā)生器,功率放大器,示波器等等。
比如測試薄膜等材料,需要測試阻抗,容值等,根據頻率需要用到數字電橋或者阻抗分析儀,或者測試介電常數,用到阻抗分析儀或者網(wǎng)絡(luò )分析儀。 數字電橋的頻率***般是幾Hz~幾MHz,阻抗分析儀是幾MHz~3GHz,網(wǎng)絡(luò )分析儀可以測試大于 3GHz的介電常數。根據測試頻率選擇合適的儀器。 除了介電常數之外,還需要測試IV曲線(xiàn)等,可以用源表測試。 測試小于nA***別的電流,需要用到靜電計,萬(wàn)用表等。 需要測試多端器件,可以用雙通道源表或者半導體參數分析儀。 兩端器件或者三端器件可以用雙通道源表測試,比如二極管,三極管等。三端以上器件,就需要用到半導體參數分析儀了,比如吉時(shí)利4200A,或者是德科技B1500A。 配合探針臺可以實(shí)現多端器件的測試。 封裝好的半導體器件,需要供電,還要用到電源,或者信號發(fā)生器和功率放大器。 測試產(chǎn)生的波形會(huì )用到示波器,比如測試三極管的放大倍數的時(shí)候等,只要觀(guān)察波形,都需要示波器。 半導體測試從前到后需要進(jìn)行非常多的測試項目,所用到的儀器也非常多,以上只是***部分,僅供大***參考。
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